специальная модификация генерального процесса, в котором плазменный или ионный используется для ионизации материала наносимых покрытий, а отрицательное смещение (заряд) изделия способствует осаждению составляющих покрытия из плазмы.
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
Источник: Словарь понятий и терминов, сформулированных в нормативных документах российского законодательства